1 引言 与传统的驻极体电容式麦克风相比,电容式MEMS麦克风具有以下优势:1)性能稳定,温度系数低,受湿度和机械振动的影响小;2)成本低廉;3)体积小巧,电容式MEMS麦克风的背极板和振膜仅有最小的驻极体电容式麦克风的1/10左右;4)功耗更低。以上几方面的优势使电容式MEMS麦克风得到越来越广泛的应用。 然而,电容式MEMS麦克风也给设计人员提出了挑战:1)麦克风在声压作用下产生的小信号幅度非常微小,要求读出电路的噪声极低;2)电容式MEMS麦克风的静态电容是pF量级,读出电路需要GΩ量级的输入电阻才能实现极点频率低于20Hz的高通滤波器,因此,高阻值电阻的实现是读出电路的又一挑战;3