传感器技术是现代科学技术发展水平的标志之一,而压力传感器技术是传感器技术的重要分支。目前各种类型的压力传感器,如扩散硅、电容式、硅蓝宝石、陶瓷厚膜、金属应变电式等类型,正广泛应用于国民生产的各行业以及科学技术领域。下面就简单介绍一些常用压力传感器的特点及其相互之间的差异。 蓝宝石压力传感器 蓝宝石压力传感器利用应变电阻式工作原理,采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件,具有无与伦比的计量特征。 蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成,不会发生滞后、疲劳和蠕变现象;蓝宝石比硅要坚固,硬度更高、不怕形变;而且蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘性,因此,利用硅-蓝宝石制造的半导体敏感元件,对温度变化不