双面接触式电容压力传感器有4个工作区,第I区是正常区,梁未接触到衬底上的绝缘层,当传感器工作在这一段时,接触式电容压力传感器与传统的硅压力传感器一样。当梁快要接近接触点的时候,传感器单位面积上受到的压力与产生的电容呈非线性关系。第II区是过渡区,梁开始接触到衬底上的绝缘层,C-p曲线呈非线性关系,电容从梁未接触到衬底到开始接触衬底转变。第III区是线性区,梁与衬底上的绝缘层开始有效接触,而且传感器的电容将随着压力的增加而线性增大。第IV区是饱和区C-p曲线略呈非线性关系,随着压力的继续增加,非线性将更明显。