传感技术中的激光位移传感器在精密测厚时需要注意哪些
和其它传感器测厚一样,要实现精密测厚需要注意以下条件,否则再好的传感器也测不准: 1、用单激光位移传感器测厚 被测体放在测量平台上,测量出传感器到平台表面距离,然后再测出传感器到被测体表面间距,经计算后测出厚度。要求被测体与测量平台之间无气隙,被测体无翘起。这些严格要求只有在离线情况实现。 2、 双激光传感器测厚 在被测体上方和下方各安装一个激光位移传感器,被测体厚度D=C-(A+B)。其中,C是两个传感器之间距离,A是上面传感器到被测体之间距离,B是下面传感器到被测体之间距离。图中:SMR是指传感器量程起始间距,MR是指传感器量程。 在线厚度测量用这种方法优点是
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