目前常用的图像传感器为电荷耦合器件(Charge Couple Device,CCD),分为线阵CCD和面阵CCD两种。前者用于尺寸和位移的测量,后者用于平面图形和文字的传递等。目前面阵CCD已作为数码相机(DC)、数码摄像机(DV)以及各种数码摄像头和工业视觉系统等。贴片机中用于识别PCB基准和检测元器件的照相机,就属于用于工业视觉系统。 (1)CCD的作用原理 是由许多光敏像元组成的。每一个像元就是一个MOS(金属一氧化物一半导体)电容器,如图1所示。在P型硅衬底上通过氧化形成一层S102,再在SiO2表面蒸镀一层金属层(多晶硅)作为电极。P型硅中的多数载流子是带正电荷的空穴,