对于精度要求较高,而又无法通过巧妙的结构安排使误差得到补偿的场合,可以采取误差自动校正措施。第3章中介绍的自动调焦技术实际上就是误差自动校正的范例。现再举一例,在大规模集成电路的制版、光刻、掩模检查以及光盘技术中,都要求达到0.1 gm量级甚至更高的调焦精度。这单靠提高工艺要求和环境条件是不明智的,而且往往还做不到。实践证明,一种解决办法就是对离焦误差进行自动校正。 例1 图1是应用在光盘技术中的一种自动调焦方案。它采用了像散法离焦探测原理。激光束经过半透半反射镜P折向物镜L,聚焦于光盘表面后返回,通过L,、P和L;,本应成像于L,的后焦面上,然而由于在光路中插入了一块柱面镜,成像光点产