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埋层锑注入剂量的工艺监测,郑刚,程秀兰,随着近年来液晶面板的兴起以及越来越大的尺寸,高压LCD驱动日渐受到市场的关注,该产品生产中采用了埋层注入和外延工艺[1]。作为N��
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分析了等离子体中传播的圆偏振激光脉冲对注入电子(沿任意方向注入)的加速。导出了电子获得加速所需的激光强度阈值及相应的电子能量增益的一般解析表达式。该强度阈值对电子的初始横向动量十分敏感,为了获得较低的
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