摘要:在晶圆制造厂中,有时为了提高设备利用率而盲目地增加投料/产出速率,造成生产周期时间增长,在制品增多。本文建立效用函数和多目标决策对其进行优化选择,并且阐述了在晶圆制造厂实际生产中,经济原则对周期时间的影响。 关键词:投料/产出速率;周期时间;效用函数;多目标决策;经济原则 1 前言 半导体晶圆制造厂是公认生产管理最为复杂的工厂之一。因为其生产过程有许多异于传统的工艺特性,例如工件再回流的现象、成批加工、作业等候时限、高良率要求、机台高当机率等,以致于一般都将交期不准、在制品(WIP)过高、周期时间(CT)过长等问题归咎于其生产管理的复杂度高及系统的不稳定。同时,晶圆制造属于资本