(二)扩散(炉) (diffusion) 1、扩散搀杂 半导体材料可搀杂n型或p型导电杂质来调变阻值,却不影响其机械物理性质的特点,是进一步创造出p-n接合面(p-n junction)、二极管(diode)、晶体管(transistor)、以至于大千婆娑之集成电路(IC)世界之基础。而扩散是达成导电杂质搀染的初期重要制程。 众所周知,扩散即大自然之输送现象 (transport phenomena);质量传输(mass transfer)、热传递(heat transfer)、与动量传输 (momentum transfer;即摩擦拖曳) 皆是其实然的三种已知现象。本杂质扩散即属