粟鹏义1,2,陈开盛2,曹庄琪1(1 上海光刻电子科技有限公司,上海,200233;2 上海交通大学,上海,200030)摘要:提出一种新的UT 1X光刻版规格:63.5mm×127mm,与原来的76.2mm×127mm的UTlX光刻版适用于同一种Ultra Tech步进光刻机。相应的光刻版数据处理以及夹具进行了调整。新规格的光刻版将127mm×127mm的基材的产出提高了—倍,加快了光刻版的生产速度,同时减少了废弃物的产生,有利于降低成本和环境保护。关键词:U1tra Tech;数据处理:光刻版;光刻中图分类号:TN305.7 文献标识码:A 文章编号:1003-353X(2004)06-0