红外透射(IR)图像检测系统是最常用的空洞检测系统,可以广泛应用于预键合后和高温退火后空洞的检测,也可以用来观察预键合过程中键合波的扩展情况,改进预键合和高温退火工艺。红外透射(IR)图像系统主要是由红外光源、红外摄像头、图像处理软件和电脑组成,原理图如图2.11所示。由红外光源发出红外光,透射通过键合硅片的红外光由红外摄像头接收,并且把接收到的红外光信号转化为电信号传输到电脑,经过电脑的图像处理软件处理,最后的硅片IR图像显示在电脑的显示器上。 图2.11 红外透射(IR)原理图 红外透射(IR)图像检测系统利用硅片对入射的红外光透明的原理。如果入射光子的能量,hν ( h:普朗克常量=6