(无锡市罗特电子有限公州,江苏 无锡 214002)摘 要:本文介绍了量子效应器件的定义、分类、特点、工作原理、特性、制造方法和应用。还介绍了国内研制量子效应器件的动态和成果。关键词:量子效应器件,共振隧穿二极管,量子点激光器,晶圆,器件中图分类号:TN305.94文献标识码:A文章编号:1681-1070(2005)07-01-051 前言在当今半导体行业中,有两大轮子推动半导体产业链不断地向前发展,一个是不断地缩小芯片的特征尺寸;另一个是不断地扩大晶圆尺寸。[1]不断缩小芯片的特征尺寸(或半导体器件的几何尺寸,如下同)将产生尺寸效应,当芯片的特征尺寸处于微米尺度时,其中的电子在波粒二重性中