(1、中国科学院电工研究所,北京100080;2、中国科学院研究生院 北京100039) 摘要:聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。它大大提高了微电子工业上材料、工艺、器件分析及修补的精度和速度,目前已经成为微电子技术领域必不可少的关键技术之一。对聚焦离子束曝光技术作了介绍。 关键词:聚焦离子束,液态金属离子源,曝光 中图分类号:TN305.7 文献标识码:A 文章编号:1004-4507(2005)12-0056-03 聚焦离子束也可以像电子束那样作为一种曝光手段。离子束曝光有非常高的灵敏度,这主要是因为在固体材料中的能量转