摘 要:在蓝宝石(0001)衬底上采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)方法生长了未掺杂的Al0.15Ga0.85N外延层,并以此为材料制作了光电导探测器,实验发现探测器具有显著的紫外光响应。分析了探测器持续光电导效应(PPC)的产生机理。 关键词:AlGaN;光电导探测器;紫外光;PPC 近年来,GaN及其合金成为人们重点研究的第三代半导体材料,具有禁带宽度大、导热性能好、电子漂移饱和速度高以及化学稳定性高等优点,对于抗辐射、耐高温的高频大功率器件以及工作于紫外波段的光探测器件,具有极大的发展空间和广阔的市场[1]。