术语“离子(ion)”或“离子的(ionic)”经常在半导体工艺中使用。该术语指的是材料中任何电荷不平衡的原子或分子。离子是通过在元素或分子的化学符号后加上一个正或负号的上标(Na+,Cl-)。举例来说,一个很严重的污染问题就是可移动的离子污染比如钠(Na+)。当钠进入半导体材料或器件中,由于钠带正电荷而引起问题。但在某些工艺如离子注入工艺中,形成离子如硼离子(B+)对完成工艺是很必要的。