为了降低测量头噪音,提高测量精度,增强其使用灵活性,进行了扫描式电感测量头的集成化研究。采用了传感器与信号处理电路均集成在测量头中,并使其具备显示功能与标准串行通讯接口的设计方案,讨论了相关电路的设计与开发。信号调理电路使用了差动电感信号调理单芯片解决方案AD698,而后续处理电路则基于内部集成有高速、高精度A/D转换器以及其他功能模块的SOC型单片机C8051F060 进行构建。对所开发电路进行了测试和实验,实验结果达到了预期要求。