偏折术中的几何结构标定误差是制约低阶面形测量精度的主要因素。从数学模型、理论模拟和实验三个方面分析了几何结构标定误差与低阶面形测量误差之间的关系。给出了表示几何结构标定误差与面形测量误差之间关系的数学模型, 并通过模拟和实验对其进行了验证。结果表明, 几何结构标定中坐标平移误差会导致倾斜和离焦面形测量误差; 被测面分别与相机和显示器之间的距离越大, 几何结构标定的误差对低阶面形测量的影响越小。研究结果可以帮助设计合适的偏折术测量系统结构和提高低阶面形测量精度。