皮秒激光具有皮秒(10-12 s)量级的脉冲宽度, 与电光弛豫时间(10-6~10-12 s)相当或比电光弛豫时间更短。皮秒激光与材料作用时, 由于电子来不及将能量传递给晶格, 以至于整个加工过程中几乎没有热作用的存在, 被称为“冷烧蚀”过程, 因此皮秒激光在航空航天、国防、材料、医学、生物等领域的精密加工中有广泛的用途。简要介绍了研制适用于微纳加工的皮秒激光器的技术路线, 综述了皮秒激光在高硬度金属精密制孔、硬脆性材料切割以及材料表面选择性去除方面的研究进展, 探讨了目前皮秒激光微纳加工存在的问题, 并展望了其可能的发展方向。