本文介绍了利用放电电压和电流的测量结果,对XeGl准分子激光器的耦合功率与等离子体特性阻抗的研究。分析了特性阻抗的函数形式对放电过程的影响以及放电稳定性的分类等,对存在的问题也进行了讨论。