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本文采用二维CCD列阵检测准分子激光的光束特性。研究了长时间运转下,光束的均匀性和光束重心的漂移。并讨论了它们与放电稳定性之间的关系。
采用“一体化自放大”技术,从实验上研究了XeCl激光器振荡-放大一体化的特性,获得了自放大输出的明显结果,并分析了自放大的内在要求。结果及理论分析表明,这种系统可适用于高增益激光系统的光束质量的改善,
研究了XeCl准分子激光在铅蒸气中的喇曼散射的输出能量及转换效率的参数依赖关系,得到能量~120mJ、峰值功率~2MW的喇曼光输出脉冲.观察到喇曼光脉冲波形上的多峰结构,并将其归因于喇曼散射中的合作效
确定了电子束激励的KTF激光器获得高效率振荡的条件。指出,混合气体中Xe和O2两种杂质的存在不应超过0.01%。得到了工作混合气体最佳组成的经验表达式。在混合气压为3大气压和脉冲持续时间~80亳微秒的
提出了在静态重复率泵浦的准分子激光器中的放电气体热膨胀模型。计算结果表明,这种热效应对激光输出平均功率与光束特性有不可忽视的影响。
用准分子激光器制造碳化硅滑环微型结构
为了适应土木工程、能源建设和传输光纤等对应力、压力和温度等参量的监测要求，光纤传感系统因为能够克服很多电学传感器的局限性
准分子激光器正在扎实地从实验室仪器发展成生产工具。美国Leitz-Image微系统公司近来推出一种定位标记激光光致烧蚀系统(ALPHA),专为自动去除覆盖硅晶片上定位标记的光致抗蚀剂材料而设计。最先进
本文报导紫外光预电离ArF和KrF准分子激光器的实验研究.输出激光能量ArF105毫焦耳、KrF185毫焦耳.文中讨论了各种参数对激光性能的影响.
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