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介绍了准分子激光刻蚀单晶硅的流程和表征, 很有用的
采用ArF脉冲准分子激光沉积法并结合退火后处理工艺,在Si(111)衬底上成功地制备了AlN晶态薄膜。X射线衍射、扩展电阻与原子力显微镜等测试结果表明:薄膜具有(101)取向,平均晶粒大小为200 n
日本工业技术院电子技术综合研究所完成了日本最强的准分子激光器,设计输出能量为1 kJ,在世界列第二,用作激光核聚变研究用的激光装置(ASHURA)的光源。计划对现在完成的激光装置进行微调,最迟到明年秋
受激喇曼散射可以将紫外准分子激光辐射频移到特定的近紫外和可见光波长.采用喇曼整形技术还可以获得衍射极限发散角的斯托克斯输出.本文研究了注入光束质量对喇曼整形的影响,并求得不同氢压力下的喇曼增益系数和饱
ArF 准分子激光器是实现45 nm 技术节点光刻的主流光源。综述了准分子激光器的研究现状,介绍了主振荡功率放大(MOPA)与种子注入锁定系统(ILS)双腔结构以及主要波长分离元件,着重介绍了深紫外波
氢气加石墨在XeCl(308nm)激光作用下产生了碳氢化合物CH4、C2H2、C2H4、C2H6等。讨论了可能的反应动力学过程。
The experimental research on spectral tuning of ArF excimer laser is reported. Frequency tuning for
本文报导用193nm ArF和222nm KrCl准分子激光分别光解HgBr2和HgI2产生Hg原子的404.7 nm(7~3S1→6~3P0 )、435.8 nm(7~3S1→6~3P1)和546.
西德Lambda Physik公司的一种XeGl准分子激光器,在激光脉冲发射超过1010次时仍无需更换闸流管、电极、电容器和电源,超过以前的寿命试验结果。公司使用的试验激光器,放电装置经过改进。对这种
准分子激光技术的突破性进展
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