ArF准分子激光器的调频研究

用准分子激光进行微加工

采用纵向气体放电激励,获得了XeCl激光作用。脉宽35毫微秒,最大能量317微焦耳,效率0.29%。

提出了一种模拟准分子激光光能量分布的方法。通过使用Matlab软件分析实际拍摄到的准分子激光光能量分布彩色图像并提取相关信息进行计算,使用光学软件Zemax模拟出实际的准分子激光的光能量分布。实际准分

目前正以越来越快的速度寻找新型激光器。事实上,这种过程似乎是交替出现的:当新波段开辟之后,新出现的应用就需要更多的波长及其它等等要求。

本文报道了采用电阻分压器测量准分子激光器放电电压的实验结果.讨论了影响测量装置性能的各种因素和消除办法,并研究了器件的过压击穿形式及其变化规律.

本文报导了高功率、高效率紫外光预电离KrF(λ=248毫微米)准分子激光器的实验研究.输出最大脉冲能量超过420毫焦耳.研究了KrF激光器的激光谱和荧光谱特性以及在混合气体中掺入Ne气的影响.

报道了适用于大体积高气压短脉冲的准分子预电离脉冲X光源,着重对获得高强度快上升X光源的技术作了介绍,并给出其它性能的实验结果.

到目前为止,具有较高功率和高效率的激光器仅存在于红外和紫外波段。CO2激光器(λ=248 nm)的效率达到30%,KrF激光器(λ=248 nm)的效率为15%。在可见光波段 (400~700 nm)

采用准分子激光对SiC陶瓷表面进行了不同脉冲数、不同单脉冲能量和不同重复频率的辐照实验, 获得了SiC陶瓷的辐照损伤二维和三维表面形貌, 并分析了微观作用机制。结果表明, 193 nm准分子激光辐照S

在紫外预电离准分子激光器中,KrF激光的脉冲能量一般大于XeCl激光脉冲能量。在X光预电离条件下,呈现相反的趋势。本文通过激光参量研究及动力学过程分析,解释了上述现象。