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报导了用XeCl准分子激光辐射(λ=308亳微米)引发的、不同混合物成分的HF化学激光器的能量和时间特性的测量结果。对混合物F2:H2:O2:He=10:3.25:l:36,在初始原子浓度为F~5×1
本文报道在XeCl准分子激光器中添加微量的氯苯(C_6H_5Cl)或四氯化碳(CCl_4),使激光输出能量提高约16%。
采用波长248 nm的KrF准分子激光器,对Al2O3陶瓷片及玻璃片的精密加工进行了研究,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律。同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响, 并且对加工后工件的表面
给出国产阶跃型石英光纤的XeCl准分子激光感生破坏特性的测量结果,并对其形成原因进行了分析。
在直接驱动激光聚变中,变焦辐照可使得激光焦斑随聚变靶丸缩小,可增大激光与靶的能量耦合效率。基于像传递技术并利用电光削波开关中的检偏棱镜同时实现光脉冲的分束与波形分割,这种方式可充分利用脉冲激光能量,可
用腔长为7.5cm~20cm的紫外光预电离Blumlein横向放电泵浦XeCl准分子激光器可产生半宽为1.8ns~5ns的短脉冲输出。速率方程的计算机模拟所给出的激光振荡初始尖峰和实验结果做了比较。
提出了一种面向步进扫描投影光刻机的深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法。通过建立扫描曝光过程的抽象模型并分析准分子激光器单脉冲能量波动特性,提出采用闭环反馈控制进行实时调节,着重研究了抑制单脉冲能量超
面向光印刷互连背板的应用需求,提出基于准分子激光消融原理对光波导的刻蚀技术进行研究,在背板上任意位置获得光波导端面实现光耦合。采用193 nm 波长的准分子激光作为光源,通过方形掩模孔径投影在互连背板
在充分调研大型激光系统多种光束平滑技术基础上,针对高功率准分子激光系统波长短、宽频带等特点,选用了无阶梯诱导空间非相干(EFISI)技术来实现角多路高功率准分子激光系统的平滑化。利用前端部分相干散射源
情性气体卤素准分子激光器于1976年第一次问世之后,达到了相当高的水平,成为强有力的紫外光源。其特点是:从远紫外到红外范围内都有发射谱线,能量和输出功率都很高。高速气体循环使重复率超过100赫,导致紫
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