用XeCl准分子激光引发的HF化学激光器

提出了一种模拟准分子激光光能量分布的方法。通过使用Matlab软件分析实际拍摄到的准分子激光光能量分布彩色图像并提取相关信息进行计算,使用光学软件Zemax模拟出实际的准分子激光的光能量分布。实际准分

研究了XeCl准分子激光在铅蒸气中的喇曼散射的输出能量及转换效率的参数依赖关系,得到能量~120mJ、峰值功率~2MW的喇曼光输出脉冲.观察到喇曼光脉冲波形上的多峰结构,并将其归因于喇曼散射中的合作效

提出了在静态重复率泵浦的准分子激光器中的放电气体热膨胀模型。计算结果表明,这种热效应对激光输出平均功率与光束特性有不可忽视的影响。

到目前为止,具有较高功率和高效率的激光器仅存在于红外和紫外波段。CO2激光器(λ=248 nm)的效率达到30%,KrF激光器(λ=248 nm)的效率为15%。在可见光波段 (400~700 nm)

The structure and performances of a small CW HF chemical laser are described. A total of 18 lines fr

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准分子激光器正在扎实地从实验室仪器发展成生产工具。美国Leitz-Image微系统公司近来推出一种定位标记激光光致烧蚀系统(ALPHA),专为自动去除覆盖硅晶片上定位标记的光致抗蚀剂材料而设计。最先进

本文报导紫外光预电离ArF和KrF准分子激光器的实验研究.输出激光能量ArF105毫焦耳、KrF185毫焦耳.文中讨论了各种参数对激光性能的影响.

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介绍了结合使用磁光法和Rogowslki线圈法测量快放电脉冲电流,并对KrF准分子体系作了实际测量。