西德Lambda Physik公司的一种XeGl准分子激光器,在激光脉冲发射超过1010次时仍无需更换闸流管、电极、电容器和电源,超过以前的寿命试验结果。公司使用的试验激光器,放电装置经过改进。对这种10 W、750 Hz器件的数据分析表明,无故障寿命平均为232小时。