循环流动XeCl准分子激光器

准分子器件重复频率高于千赫兹时,闸流管作为传统的放电开关由于寿命瓶颈而不能满足长期稳定工作的要求。采用固体开关结合磁脉冲压缩技术的固态脉冲功率模块(SSPPM)来替代闸流管进行高压快速放电,激光器可在

目前正以越来越快的速度寻找新型激光器。事实上,这种过程似乎是交替出现的:当新波段开辟之后,新出现的应用就需要更多的波长及其它等等要求。

电子束抽运的高功率大孔径准分子激光器

收稿日期:--

介绍了结合使用磁光法和Rogowslki线圈法测量快放电脉冲电流,并对KrF准分子体系作了实际测量。

到目前为止,具有较高功率和高效率的激光器仅存在于红外和紫外波段。CO2激光器(λ=248 nm)的效率达到30%,KrF激光器(λ=248 nm)的效率为15%。在可见光波段 (400~700 nm)

利用XeCl(308 nm)脉冲准分子激光淀积技术在功率密度5×108 W/cm2、室温、真空度10-3Pa的条件下,制备出不含氢成分的类金刚石薄膜,研究了类金刚石薄膜的特性及其随制备工艺条件的变化规

所属栏目:

利用激光感生热电电压(LITV)效应制成了激光功率/能量计,它不仅能测量和记录每个脉冲的能量值及实时施加的脉冲总能量等信息,也能记录每个入射脉冲的响应波形,实现了对激光能量的实时监控。用此功率/能量计

测量在空气和真空中308 nm准分子激光对C60薄膜的刻蚀速率和刻蚀阈值,讨论了环境中氧气对刻蚀特性的影响。