以离子束溅射沉积(IBSD)方法制备了Al2O3、Nb2O5单层膜,用红外可变角度光谱椭圆偏振仪(IR-VASE)测试了薄膜的光学常数。用原子力显微镜(AFM)测量了单层膜的表面形貌及表面粗糙度,计算了单个表面的总积分散射(TIS)。以Nb2O5 和Al2O3 为高低折射率材料设计并制备了2.7 μm 高反射膜。最后对单层膜进行了环境实验检测。结果表明,制备的薄膜在中红外波段具有高的折射率和低的消光系数,光滑的表面特性和极低的表面散射损耗;在2.7 μm 波段没有发现由于水吸收导致的消光系数的增大;制备的反射膜在2.7 μm 反射率达到了99.63%,接近于理论计算值。薄膜顺利通过了一系列环境