用于重复频率准分子激光器的火花隙开关

为了达到野外使用要求,采用变反射率镜(VRM)非稳腔和折叠腔方式,研制了高光束质量的小型脉冲激光器。分析了VRM腔参数对输出激光束特性的影响,针对高光束质量输出要求,通过计算,选择出适合的谐振腔参数。

研制了十焦耳级重复频率光抽运XeF(C-A)激光器装置,该装置主要由激光器单元和XeF2供气单元两部分构成。激光器气室长167 cm,高20 cm,宽13 cm,输出口径5 cm×5 cm。抽运方式为

报道了通过三级功率放大系统(LD抽运双程放大系统、LD双端抽运放大系统和LD单端抽运放大系统),获得平均功率50 W以上的1064 nm皮秒激光输出。当皮秒振荡器种子注入功率为6.67 W时,经过功率

在放电激励重复频率气体激光研究中,激光器重复频率运行能量稳定输出是提高其输出平均功率及其实用化的基础。利用实验室已建立的单脉冲输出能量焦耳级的放电激励重复频率脉冲HF激光装置,通过调节气体介质循环速率

目前正以越来越快的速度寻找新型激光器。事实上,这种过程似乎是交替出现的:当新波段开辟之后,新出现的应用就需要更多的波长及其它等等要求。

本文报道了采用电阻分压器测量准分子激光器放电电压的实验结果.讨论了影响测量装置性能的各种因素和消除办法,并研究了器件的过压击穿形式及其变化规律.

本文报导了高功率、高效率紫外光预电离KrF(λ=248毫微米)准分子激光器的实验研究.输出最大脉冲能量超过420毫焦耳.研究了KrF激光器的激光谱和荧光谱特性以及在混合气体中掺入Ne气的影响.

光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研

在一台快放电泵浦的ArF准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件,用组合输出镜获得了线宽小于0.1 nm,调谐范围~1 nm的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级,注入后放大级效

到目前为止,具有较高功率和高效率的激光器仅存在于红外和紫外波段。CO2激光器(λ=248 nm)的效率达到30%,KrF激光器(λ=248 nm)的效率为15%。在可见光波段 (400~700 nm)