采用不同功率的飞秒激光对单晶金刚石分别进行了单脉冲分离烧蚀实验和多脉冲累积烧蚀实验, 计算得到了单晶金刚石材料的单脉冲烧蚀阈值和多脉冲累积烧蚀阈值, 并研究了多脉冲作用下单晶金刚石烧蚀阈值的变化。结果表明:单晶金刚石的飞秒激光单脉冲烧蚀阈值为8.80 J/cm2; 随着有效脉冲数增加, 烧蚀阈值逐渐减小; 当有效脉冲数小于124时, 烧蚀阈值随有效脉冲数的增加而急剧减小; 当有效脉冲数增加到486后, 烧蚀阈值减小的趋势趋于平缓。有效脉冲数486、激光平均功率10.7 W是最优的激光加工工艺参数。