为了实现口径150 mm凸双曲面SiC反射镜的面形检测,分别设计了传统的Hindle球检测、Simpson Hindle式检测和非球面样板法检测。经过检测精度、公差等方面的比较,选取了检测精度高、公差宽松、支撑结构简单的Hindle球检测方案。经过研磨、抛光等加工过程,目前面形精度达到0.023λ(均方根值)。在检测光路的对准和几何量测量方案中,提出采用干涉仪和激光跟踪仪相结合的方法,利用干涉仪对靶标球球面干涉检测对准,分别测量得到干涉仪出射光会聚点和Hindle球心的空间坐标,这两点对应着被检测凸双曲面的两个几何焦点,进一步计算得到被检双曲面的几何参数。误差分析表明,采用这种方法顶点曲率半径