根据现有的模型,激光辐射对铬薄膜的热化学作用会导致被照射表面产生物理化学性质的变化,并生成氧化薄膜。一般认为,在记录高空间频率的结构时,必须用毫微秒脉冲序列使薄膜加热。不然,由于热从照射区流散,分辨率将会降低。