在激光烧蚀过程中,靶材的吸收系数、热导率、电导率、密度和反射率参数随着温度变化而变化。当靶材表面温度接近热力学临界温度Tc时,靶材高温部分由金属向非金属转变。将靶材划分两个温度区域(0.8Tc以下和0.8Tc以上),对以上参数进行了建模计算。结合一维热传导方程,计算得到了铝靶温度、吸收系数、热导率、电导率、密度和反射率的时间和空间分布特性,并给出了烧蚀深度随激光能量的变化情况。数值计算结果与实验结果符合较好,验证了模型的正确性。