1 引言MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型器件或系统。而MOEMS是 Micro-Opto-Electro- Mechanical System的缩写,意为微光机电系统,把微光学应用到微机电系统中,这是MEMS在光通信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统,其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感等多个方面。随着光通信的快速发展,作为光网络节点的光互连与光交换的地位越来越重要。光交换器件是以光为实现光的通断和交