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随着光刻机分辨力节点的提高,纳米级的高精度检焦技术变得愈发重要。针对投影光刻的特点,介绍了一种基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法。此方法基于三角法测量原理,通过光弹调制器和横向剪切板的光学调制、平行平
摘要:脉搏测量是指检测脉博的有无,使用的传感器是红外接收二极管和红外发射二极管。信号经过放大后,送入单片机计数测量。为了克服干扰,设计了低通放大器。 关键词:测量;脉搏;拾取;放大;低通 1 引言
一 引言 LED市场,由于受LED可替代白炽灯和荧光灯,广泛用于液晶电视背光源潜力的驱动,近年来正在爆炸式地增长。LED的商业成功依赖于各个方面,如单晶生长、芯片工艺、以及封装测试等的持续改善。
对传统光杠杆测量微小位移的原理进行改进,可以将微位移量放大100量级以上,测量系统的理论分辨率为4nm、实测分辨率小于10nm
关于微球的响应面优化研究,很好的一篇文章
基于对边测量功能的公路横断面测量方法,尚云东,,针对传统道路横断面测量方法劳动强度大、作业效率低、测量精度低的缺点,采用全站仪坐标放样和对边测量功能,进行高效、灵活、高
基于Mie散射的微/纳米颗粒测量的综述,和睦,吴小玲,本文以粒度测量为核心出发点,总结了常见激光测量方法,讲述了Mie散射理论的相关背景知识并着重介绍了基于Mie散射的粒度测量方法,
本文为读者总结了基于电力变压器直流电阻的快速测量方法----静态测量法,供读者参考学习。
三角测量法是一种位移测量方法, 其测量精度不但受到传感器本身因素如光源、探测器、机械结构特性等因素的影响, 还受到被测表面特性如色泽、材料、粗糙度、倾斜度以及外界环境的影响。国内外的一些学者提出了许多
提出一种基于快速傅里叶变换(FFT)提取相位的方法,分析自混合干涉信号,不增加系统复杂度就能将激光自混合(SMLD)微位移测量精度提高到纳米量级。在激光自混合微位移测量原理的基础上,介绍了FFT提取相
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