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交替磁控溅射法制备SiC/ZnO纳米颗粒的微观结构及发光机理研究，郑越，师春生，本文采用了交替磁控溅射以及在N2保护下退火成功制备了SiC/ZnO纳米颗粒膜，实验结果表明：退火温度对SiC/ZnO纳米
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