交替磁控溅射法制备SiC/ZnO纳米颗粒的微观结构及发光机理研究,郑越,师春生,本文采用了交替磁控溅射以及在N2保护下退火成功制备了SiC/ZnO纳米颗粒膜,实验结果表明:退火温度对SiC/ZnO纳米颗粒膜的微观结构和发�