连续光谱的同步辐射光通过入射狭缝照射到光栅单色器后,在出射的单色光λ中总是不可避免的混有基波λ的高级次谐波λn=λ/n。采用自制的3300 1p/mm 金膜自支撑透射光栅和美国IRD公司的AXUVI00G光电二极管探测器,定量研究了光谱辐射标准和计量光束线在5~40 nm波段的高次谐波。研究了Zr,Si,Al和Al/Mg/Al滤片在不同能量范围对高次谐波的抑制作用,给出了实验数据和曲线。在5~40 nm波段,适当的选用Zr,Si,Al和Al/Mg/Al 滤片可有效地抑制高次谐波,在5~34 nm波段将高次谐波与基波的信号强度比例控制在8.06%以内,经量子效率修正后小于3.08%,在35