卤化铜激光器给铜蒸汽激光器发展提供了另一种颇具前景的发展途径。卤化铜激光器在比较低的温度下工作,因此它可使用简单的石英管结构,并使达到最佳工作范围的时间明显缩短(短于10分钟)。一些研究工作已经证明,在近似相等工作条件下,CuCl、 CuBr激光器和纯铜激光器的输出特性彼此差别不大。但卤化铜激光器存在寿命过短的问题。