83年11月,商用准分子激光器取得一些关键性技术进展。XMR公司的XeCl激光器获得200瓦输出,重复频率500赫。寿命超过500万次,无需充气或擦洗。公司还宣布其用于半导体工业的准分子激光微加工中心已首次启运。早些时候,Lambda Physik还报道XeCl激光器的寿命已达1.2亿次。他们把这种长寿命归因于其磁幵关技术与改进的闸流管与电极寿命。