紫外可调频准分子激光系统

东芝公司用准分子激光器和石英透镜的十分之一缩小光学系统,制成电路线宽为0.35 μm、大小为5 mm见方的图案。估计用这一技术并改进原有的曝光技术,对如工64 M DRAM (动态存储器)(电路线宽2

以准分子激光在软性材料上制作图案

报道了使用XeCl准分子激光(308 nm)照射兔前列腺标本。观察了在不同频率、不同介质等条件下对离体免前列腺组织的消融效果,测得损伤阈值为400 mJ/cm2。结果表明,准分子激光具有消融效果高、对

83年11月,商用准分子激光器取得一些关键性技术进展。XMR公司的XeCl激光器获得200瓦输出,重复频率500赫。寿命超过500万次,无需充气或擦洗。公司还宣布其用于半导体工业的准分子激光微加工中心

收稿日期:1980-10-20

对于激光系统性能而言,谐振腔最佳透射率具有非常重要的作用。低增益、宽带脉冲准分子激光的最佳透射率条件与其激光抽运脉冲引起的增益脉宽有密切关系。提出了在激光四能级系统速率方程的基础上模拟低增益准分子激光

从70年代开始作为可见和紫外波段有效辐射源的准分子激光器普及性就在增长。在准分子激光器中,KrF*、XeCl等惰性气体的卤化物激光器有最高特性。目前继续提高输入介质的能量是个艰难任务,因此,依靠混合气

本文报道一台新颖的双通道放电泵浦的准分子激光器,采用折叠式光路构成一个较长的激光腔(2m),同时适当拉长放电时间,获得了150ns、150mJ的激光输出。

由于美国GCA公司集成电路系统组采用4600 L型图形发生器,使激光进一步“侵入”半导体生产工艺。这种系统弥补了紫外弧光灯和电子束系统的缺陷,可望比紫外弧光灯速度快得多,而比电子束系统便宜得多。

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