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内窥镜物镜是双光子成像应用于医疗内窥成像的关键部件,物镜的成像质量和信号光收集效率对最终图像的质量至关重要。为光纤扫描式双光子成像系统设计了一款高收集效率、大视场、结构紧凑的物镜。在该系统中,920
轴向滑动型物镜组件结构如图所示。它把物镜偏心地安装在塑料骨架的顶端,聚焦线圈绕在塑料骨架上,循迹线圈贴靠在聚焦线圈的外侧。从图中可以看出,柱形塑料骨架的中间有一轴孔,磁铁底座中司有一根轴,两者套在一起
大相对孔径连续变焦前置物镜的光学设计很好的一篇文章
4.4 工程的编辑4.4.1 建立工程1）点击WINDOWS操作系统的【开始】 【程序】 【Keil uVision4】启动Keil uVision或在桌面双击【Keil uVision4】快捷方
为了在光刻机工作过程中保证投影物镜的成像质量,人们开发了一系列投影物镜像差的现场测量技术。对目前国际上常用的几种高精度投影物镜像差现场测量技术进行了分析和比较。
本文设计了一种新系列的紫外或远紫外激光光刻物镜,它与国内外已有的紫外物镜相比,在365nm以下的光谱区,具有更宽的光谱工作带宽和较高的数值孔径.以宽带准分子激光或短弧汞氙灯做光源,无需另加色散补偿光学
提出了一种新的光刻机投影物镜像差原位检测(AMF)技术。详细分析了该技术利用特殊测试标记检测投影物镜球差、像散、彗差的基本原理,论述了该技术利用对准位置坐标计算像差引起的成像位置偏移量的方法。实验结果
基于一阶几何光学,以给定的初始结构参数推出了共轴三反光学表面的曲率和间隔方程;以佩茨瓦尔和为零作为约束条件,推出了初始结构参数应该满足的方程。基于三阶几何光学中球差、彗差、像散为零的目标求解二次曲线常
调制传递函数是评价光学成像系统成像质量的重要方法,因而测量光学系统的调制传递函数在各种成像光学系统生产实践中具有相当重要的作用。但是长期以来,投影显示设备的生产中缺少能够定量的检测投影物镜性能的标准化
针对45 nm及以下节点光刻相关技术的研究需求,确定了实验型投影光刻物镜的结构型式及设计指标。依据像差理论在非同心小遮拦的Schwarzschild反射系统中添加折射补偿镜组来进一步减小系统的中心遮拦
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