1975年,Ewing和Bran根据Mo Ousker等人的理论予见,用电子束激励了I2。此后对F2、Br2和Cl2也进行了成功的实验。I2激光器的波长为342毫微米,Br2的为292毫微米,Cl2的为258毫微米,F2的为158毫 微米。因此,它们与稀有气体卤化物激光器差不多覆盖同一光谱区。尽管如此,但过去对它们的研究却远远不如后者那样详尽。