研制了用于抽运激光的分段表面放电辐射源。辐射源采用分段表面滑闪放电诱导长距离、线性等离子体通道大电流放电,实现了高亮度真空紫外辐射(140~170nm),且各段总的放电分散时间小于100ns。用该辐射源解离XeF2获得了XeF(C-A)激光输出。