在纳米精度外差干涉仪中,由于非线性的温度漂移,成为外差干涉仪实现纳米精度测量的重要误差源。本文对差动干涉仪的理论分析得出了如下的结论:干涉仪中除了存在测量光路和参考光路以外,还存在参考光误差分量和测量光误差分量的额外光路,从而引入新的干涉混叠,产生非线性漂移;1/4波片的相位延迟量误差和安装误差是引入非线性漂移的主要因素,其影响程度是一阶的。提高波片加工精度,并尽量减少其级数可降低非线性漂移。