美国的两个研究小组分别研究出相似的方法,产生短于100毫微米的极紫外波长。这一波段通常很难检测,因为空气和真空室窗二者在100毫微米以下都不透光。为了避免这个问题,这两个小组使激光脉冲穿过脉冲喷气进入真空室。激光束与气体 间的非线性相互作用产生100毫微米以下的谐波。