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研制了工作在60千伏,重复频率每秒50次的火花隙开关,在静态气压下,重复率每秒20次,正常工作寿命可达20分钟。
七十年代中期,准分子激光以新体系、新波长为主要研究目标,使它成为新型气体激光器的一个重要分支。近年来,准分子激光的发展在于大功率、高重复率、改变脉冲时间等方面,与此同时,继续发展新的泵浦技术和新的体系
本文采用二维CCD列阵检测准分子激光的光束特性。研究了长时间运转下,光束的均匀性和光束重心的漂移。并讨论了它们与放电稳定性之间的关系。
描述了用308 nm XeCl准分子激光双侧面对称泵浦之形腔染料激光器,重点探讨了这种激光器的输出光束质量改善问题,实验发现这种双侧面对称泵浦较传统的横向泵浦,光束质量有较好的改善,对于2×10-3
美国宇航局戈达德空间中心研究人员正利用臭氧层吸收XeCl准分子激光辐射的特点来监测地球臭氧保护层消耗的情况。
美帝无线电公司用普通阴极射线管中的磷光体——氧化锌单晶——首次制成产生紫外光的固体激光器。他们研究出了一种透明的氧化锌小片,将这种小片装在金属支架上,放入真空玻璃管内,然后用高电压电子束轰击。
研究了XeCl准分子激光在铅蒸气中的喇曼散射的输出能量及转换效率的参数依赖关系,得到能量~120mJ、峰值功率~2MW的喇曼光输出脉冲.观察到喇曼光脉冲波形上的多峰结构,并将其归因于喇曼散射中的合作效
In KrCl laser oscillator-amplifier system pumped by U V preionization discharge, KrCl laser pulse du
提出了一种面向步进扫描投影光刻机的深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法。通过建立扫描曝光过程的抽象模型并分析准分子激光器单脉冲能量波动特性,提出采用闭环反馈控制进行实时调节,着重研究了抑制单脉冲能量超
本文根据氮分子激光器原理和Blumlein结构横向放电脉冲激光器的电路原理,分析各种参数如激光腔电感、电极形状、火花隙电感、传输线以及在激光器中放电开始点对激光输出的影响。研制成一种结构紧凑小型的氮激
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