如今工程师所设计的很多系统和产品中都包含有微机电系统(MEMS)传感器,特别是MEMS陀螺仪等关键元器件。这些应用种类繁多,从便携式设备、可穿戴设备到工业机器人、关键的汽车安全系统等一应俱全。它们对低功率、小尺寸、环境耐受性及低成本等提出了越来越高的要求。为满足这些需求,如今的设计工程师正在思考新的解决方案,同时也在寻求能将理论与实践相结合并能将实验室与生产线相连接的新合作伙伴。他们想要寻求创新和形成规模。 而被称之为体声波(BAW)的新一代创新MEMS技术正为这些问题提供了解决方案。体声波技术正被用于开发一类全新的固态MEMS陀螺仪,其不仅能很好满足低功率、小尺寸、低成本及高产量等