近十几年来在软X射线波段光学中取得的进展,很大程度上与法向入射多层干涉反射镜的出现有关[1,2]。这些反射镜通常由两种介电常数不同的物质的交替层组成。理论分析表明,为了获得最大反射率,其中一种物质的吸收应尽可能小[3~5]。