衍射强度均匀分布的二元位相光栅

qq61112 9 0 PDF 2021-02-23 19:02:06

研究了衍射强度均匀分布的二元位相光栅的设计原理,利用微电子工艺加工了16个衍射点强度均匀分布的二元位相光栅,并给出了实验结果。

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