腐蚀控制模式波长
镀膜的方法虽然也可以移动模式波长,但由于顶部反射率的降低,ASFP腔的谐振吸收作用减弱了,难以制作高对 比度的器件。高对比度的器件一般都是常通型。常通型器件要求模式波长在c-hh峰的长波方向,如果由于生长厚 度的偏差引起模式波长的偏离,必须采用后工艺的方法将模式波长移到合适的位置。图1所示为列阵器件的湿法腐 蚀实验结果,曲线1为器件腐蚀前的反射谱(器件I、2为列阵在空间位置上相隔远的两个器件)。 图1 模式波长在腐蚀控制下的移动 腐蚀前器件1和2的e-lh激子峰都在约840 nm处,e-hh激子峰都在约848 nm处,两个器件的模式波长均在约880 nm处,两个器件的模式波长移动值基
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